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Cas d'entreprises concernant Projet de salle blanche pour les semi-conducteurs au Mexique

Projet de salle blanche pour les semi-conducteurs au Mexique

2026-04-03

Contexte client

Une entreprise de semi-conducteurs sans usine externalisant sa production de puces de pointe. Leur salle blanche existante ne pouvait pas répondre aux exigences strictes en matière de vibrations et de pureté de l'air pour la lithographie par immersion à 193 nm, entraînant une perte de rendement.

Besoins et défis

· ISO Classe 5 (Classe 100) à la surface de la tranche.
· Contrôle strict de la température : 22 ± 0,1°C dans la baie de photolithographie.
· Temps d'arrêt court : Seulement 1 mois disponible pour moderniser la baie existante.

Solution

· Conception de mini-environnement : Isolation du stepper avec des unités de filtration par ventilateur (FFU) plus des filtres chimiques pour l'AMC. Atteinte de la norme ISO 4 à l'intérieur de l'enveloppe de l'outil.
· Isolation active des vibrations : Bloc d'inertie en béton + isolateurs pneumatiques pour répondre aux critères VC-D.
· CVC de haute précision : Doubles boucles d'eau glacée avec réchauffage, plus des terminaux à débit d'air variable (VAV). Uniformité de température mesurée à ±0,08°C.
· Panneaux préfabriqués : Panneaux en acier inoxydable fabriqués hors site avec des joints à came. Installés lors d'un arrêt de maintenance planifié – achevé en 25 jours.

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Commentaires du client

« Yaning a mieux compris nos besoins en matière d'équipement que d'autres entrepreneurs en salles blanches. »
— Responsable des installations, Client dans le secteur des semi-conducteurs

Résumé

Yaning est spécialisée dans l'ingénierie des salles blanches. Nous nous consacrons à la création d'environnements de production propres qui améliorent directement l'efficacité de la fabrication. Nos solutions modulaires représentent un choix idéal pour les zones de production propres dans le secteur manufacturier.

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